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CCQ型系列氣動超高真空插板閥是用壓縮空氣為動力，通過電磁換向閥改變氣路方向，推動氣缸活塞，通過傳動桿推（拉）動連桿機構，驅動閥板沿軸向運動，實現閥板開啟或關閉，從而達到在超真空系統中接通或切斷氣流的目的。在結構設計上合理，在外觀上美觀，并具有動作平穩，體積小，流量大，使用可靠，密封性能好和壽命長等優點，能廣泛應用于超高真空設備中。
適用的工作介質為潔凈的空氣及非腐蝕性氣體。
適用范圍（Pa） | 105~1.3×10-7 |
閥門漏率（Pa.L/S) | DN≤200為≤1.3×10-7 |
DN≥250為≤6.7×10-7 | |
閥門烘烤溫度（℃） | ≤150（除傳動裝置外） |
開閥時閥板兩側壓力差（Pa） | ≤2.7×103 |
氣源壓力（MPa） | 0.4~0.7 |
電源電壓 | 標準出廠：AC220V/50Hz |
特殊指定：①AC110V;②DC24V;③DC12V等 | |
信號反饋 | 標準出廠：不帶反饋信號 |
特殊指定：磁性開關DC/AC5~240V | |
安裝位置 | 任意 |
型號 | 通徑（DN） | 外形尺寸 | 法蘭尺寸 | |||||||||||
A | B | C | D | E | H | L | ΦD | ΦB | ΦG | ΦK | n-d | F | ||
CCQ-63 | 63 | 130 | 64 | 110 | 54 | 170 | 66 | 368 | 114 | 92.2 | 82.4 | 77 | 8-M8 | 12 |
CCQ-80 | 80 | 166 | 77 | 140 | 61 | 210 | 70 | 450 | 130 | 110 | 99 | 93 | 16-M8 | |
CCQ-100 | 100 | 186 | 160 | 72 | 230 | 70 | 490 | 152 | 130.3 | 120.6 | 115 | |||
CCQ-150 | 150 | 234 | 78 | 207 | 96 | 307 | 78 | 626 | 202 | 181 | 171.4 | 166 | 20-M8 | 15 |
CCQ-200 | 200 | 280 | 98 | 254 | 121 | 382 | 80 | 750 | 253 | 231.8 | 222.1 | 217 | 24-M8 | |
CCQ-250 | 250 | 342 | 117 | 312 | 148 | 462 | 92 | 812 | 305 | 284 | 273.1 | 267 | 32-M8 | |
CCQ-320 | 300 | 449 | 425 | 212 | 670 | 130 | 1200 | 425 | 338.1 | 326.4 | 320 | 32-M10 | 18 | |
CCQ-400 | 400 | 536 | 512 | 256 | 810 | 130 | 1394 | 512 | 437.9 | 424.4 | 419 | 40-M12 | ||
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