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在真空系統中，用于更改氣流方位，調整氣流量尺寸，斷開或接入管道的真空系統元器件稱之為真空閥門。有真空球閥，真空蝶閥，真空泵氣動蝶閥等。
真空閥門在真空系統中的功能是：
(1)電源開關供氣，更改氣流的流過線路。
(2)操縱氣流尺寸，調整真空值。
(3)定量分析打氣。
真空閥門與一般閥門區別
閥門、截止閥、截止閥門這些均能生產制造成真空閥和一般基本閥門。從外表上無區別，在閥門聯接位置設計方案上是有各自的，僅僅關鍵點上的問題。
真空閥門相對性于正壓力閥門具備以下特性：
工作壓力小于大氣壓力，而活塞閥上的壓力降不可以高于1公斤力/cm2。介質的操作溫度在于應用設備的加工工藝全過程。溫度一般不超過-70~+150℃的范疇。
對這種閥門最主要的標準是確保聯接的相對高度密閉性和構造與墊片材料的緊密性。
按介質工作壓力真空閥門可分為四組：
1）低真空閥門：介質工作壓力p=760~1mmHg；
2）中真空閥門：p=1×10-3mmHg。
3）高真空閥門：p=1×10-4~1×10-7mmHg；
4）極高真空閥門：p≤1×10-8mmHg。
真空閥門普遍使用的閥座作勻速直線運動的真空泵波紋管截止閥。截止閥卻遭受很大的限定，但大通汽車徑而言，可以用的也有閥門、柱塞閥和碟閥。
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