幾種常見的真空管件金屬密封法蘭類型

在某些需要高溫烘烤(大于200oC的烘烤環境)或采用低蒸汽壓(常溫下小于10°C的真空設備)的非常高真空設備中，金屬密封材料由于其不耐高溫、放氣量大，不適合在這種環境下使用。

下面是一些金屬密封法蘭型式。

直線密封。

正方形的密封就是在密封臺階上有0.025mm的間隙，可以保證密封圈在壓縮變形時呈“L”形。對下凸緣臺階，則要方便定位O型圈，要求表面粗糙度優于R型圈1.6,O型圈壓縮為50%。常用的O型圈金屬絲直徑有：0.5mm,0.6mm,0.8mm,1mm和1.5mm這五種。

錐形端面密封

錐端端面的密封要求密封件的表面具有優于R1.6的粗糙度，并且上下兩個錐面的角度應一致，以確保密封的可靠性。其常用的密封環材料有鋁、鎳、銅，不銹鋼法蘭等不銹鋼。封口法蘭的材料選擇一般采用碳鋼或不銹鋼。

平板凸緣密封

平法蘭密封是這里列出的金屬密封法蘭型式中較簡單的形式，其密封面不需考慮配對，且其表面粗糙度要求為R=1.6-R=0.25，也比較容易達到。普通法蘭封常用的材料有金，銅，鋁。

這種法蘭密封的主要缺點是密封圈的定位問題，比較棘手，而且其接觸面大，密封力要求高，因此常用于小直徑法蘭連接密封中。

惠勒密封

刀寬等于密封圈線徑，均為2mm，采用無氧高導銅作密封圈材料。襯墊因受壓而產生塑性變形，從而填滿左邊的空間，把多余的部分從右邊擠壓出來，形成可靠的密封環境。還可用聚四氟乙烯作為密封材料。

在真空設備中，金屬密封是一種重要的密封材料，它具有極低的放氣量，并能承受持續的高溫烘烤環境，因而成為真空設備中不可或缺的組成部分，在非常高真空鍍膜設備中有著廣泛的應用。