高真空密封技術之橡膠密封

眾所周知，真空的獲得離不開好的密封。真空密封技術是保證系統真空度的重要手段。常見的真空密封技術有橡膠密封、磁流體密封、粘合劑密封、金屬密封等。讓我們簡單了解一下真空橡膠密封。

真空橡膠密封。

真空系統中使用的橡膠有自然乳膠制成的硫化橡膠、合成橡膠(包括丁基、氯基、丁晴橡膠)、硅橡膠、氟橡膠等2種。

解決真空橡膠密封，除了需要正確的密封結構設計外，合理選擇密封材料也很重要。影響真空密封的幾個主要因素是橡膠的耐熱性、耐壓變形性、漏氣率、透氣性、出氣率、升華(重量喪失)等。

耐熱性。在真空系統中，通常需要排氣系統或部件，通過烘烤完成，橡膠密封需要相應的耐熱性，以確保烘烤排氣的順利進行。一般烘烤溫度在120℃以下和10-5Pa的真空度下，可采用丁基或丁晴橡膠的烘烤溫度更高，在非常高真空環境下工作時，需采用氟橡膠。

抗壓縮變形。在真空系統中，大量真空密封在壓縮狀態下工作。為了使密封具有密封的可靠性，同時保持相應的密封壽命，真空密封橡膠具有較小的壓縮變形值(建議在35%以下)，同時具有較慢的壓縮應力松弛程度(即壓縮應力松弛系數大)，真空密封具有較高的壽命

漏氣率。根據經驗和計算，在真空系統中，當真空泵的抽氣速度為8000L/s時，應保持5×10-7Pa的真空度，橡膠的漏氣率不得大于5.25×10-3Pacm3/s。